為了滿足一些對質控要求高的工業車間生產環境，很多企業選擇建設無塵車間。精密制造工業以半導體、晶片、集成電路等制造工藝的需求設置無塵室，業內也叫超凈間。這種無塵車間對環境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業潔凈室，這些制造品類的無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。
半導體、晶(jing)片、集(ji)成電路超凈(jing)間的建(jian)(jian)設專(zhuan)業度(du)高且(qie)程(cheng)(cheng)序復(fu)雜，要打造真正意義上滿足標(biao)準且(qie)適合(he)工(gong)藝(yi)流(liu)程(cheng)(cheng)的超凈(jing)間包含多(duo)種(zhong)專(zhuan)業維度(du)的建(jian)(jian)設內容。譬如(ru)：建(jian)(jian)筑(zhu)構造、內部(bu)平面、工(gong)藝(yi)布置、裝飾裝修、人員和物料凈(jing)化、暖(nuan)通系統(tong)建(jian)(jian)設、自控系統(tong)建(jian)(jian)設、通排風系統(tong)建(jian)(jian)設、氣體供(gong)應系統(tong)建(jian)(jian)設、管網建(jian)(jian)設等(deng)。
電(dian)子工業超(chao)凈(jing)間【集成電(dian)路(lu)/半導(dao)體超(chao)凈(jing)間】建設(she)環節較為復雜，我(wo)們摘出在半導(dao)體超(chao)凈(jing)間建設(she)環節中(zhong)，暖通(tong)系統和(he)氣體供應系統的建設(she)相關內容(rong)加以概述。
一、半導體、晶片、集成電路超凈間(jian)暖通系(xi)統設計(ji)要點：
1.半導(dao)體(ti)、晶片、集成電路超凈間(jian)多以萬級（局部(bu)百級）為設計目的(de)。要達到這樣的(de)標準，就必須選擇高(gao)效(xiao)或亞(ya)高(gao)效(xiao)過(guo)濾器(qi)(qi)(潔凈級別(bie)低時)作為終端(duan)過(guo)濾器(qi)(qi)，對進入無塵車間(jian)的(de)空氣，進行一級過(guo)濾。為保護終端(duan)過(guo)濾器(qi)(qi)和(he)延長(chang)其壽命，必須使空氣先經中效(xiao)過(guo)濾器(qi)(qi)進行過(guo)濾。
2.除了(le)考慮潔(jie)(jie)凈(jing)的(de)空氣(qi)送風外，還要考慮合理(li)的(de)氣(qi)流分布(bu)流型。譬如在工作區應(ying)避免渦(wo)流區就一(yi)個盡(jin)量使送入房間的(de)潔(jie)(jie)凈(jing)度(du)高的(de)空氣(qi)直接到達工作區;氣(qi)流的(de)流動有利(li)于潔(jie)(jie)凈(jing)室(shi)內的(de)微(wei)粒從(cong)回風口排走。
3.要根(gen)據無塵(chen)車間的規格(ge)大(da)小來選擇合適的送風設備，達到足(zu)夠的送風量，以達到可以稀釋(shi)空氣(qi)的含塵(chen)濃度，又能保證有穩定氣(qi)流(liu)流(liu)型的目(mu)的。
二、半(ban)導體、晶片、集成電路超凈間供(gong)氣系統設(she)計要點：
在工藝(yi)(yi)技術較為先進的(de)(de)半(ban)(ban)導體(ti)(ti)(ti)晶圓工廠的(de)(de)制造過(guo)程中(zhong)，工藝(yi)(yi)步(bu)驟達幾(ji)百(bai)道(dao)，前后要使(shi)(shi)用(yong)幾(ji)十種(zhong)不同種(zhong)類(lei)的(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)。易納瑞(rui)在設計電子工業超凈間【集(ji)成(cheng)電路(lu)/半(ban)(ban)導體(ti)(ti)(ti)超凈間】過(guo)程中(zhong)會依據行業特色和自身經驗判斷用(yong)哪種(zhong)供氣(qi)(qi)(qi)(qi)方(fang)式(shi)更適合。譬如晶圓半(ban)(ban)導體(ti)(ti)(ti)超凈車間，會推(tui)薦采用(yong)外(wai)購(gou)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)鋼(gang)(gang)瓶(ping)或鋼(gang)(gang)瓶(ping)組(zu)來(lai)輸送供氣(qi)(qi)(qi)(qi)，有易燃性(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)、毒性(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)、腐蝕(shi)性(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)、惰(duo)性(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)、氧化性(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)組(zu)成(cheng)的(de)(de)多種(zhong)類(lei)特種(zhong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)需求的(de)(de)，選擇這種(zhong)方(fang)式(shi)會節省投資，且擁有使(shi)(shi)用(yong)方(fang)式(shi)靈活的(de)(de)優點，電耗及制氣(qi)(qi)(qi)(qi)成(cheng)本相對(dui)也(ye)比(bi)較低廉。缺點是(shi)在氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)輸送的(de)(de)過(guo)程中(zhong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)比(bi)較容易受到污染，對(dui)后期就整個供應(ying)系統的(de)(de)管理(li)和維(wei)護要求較高。
在半(ban)導體(ti)、晶片、集(ji)成(cheng)電路(lu)這(zhe)類電子工(gong)(gong)業(ye)超凈間(jian)建設(she)過程(cheng)中，因為工(gong)(gong)藝(yi)復雜對(dui)環境要(yao)求(qiu)(qiu)高(gao)。要(yao)在一(yi)定(ding)空(kong)(kong)間(jian)內(nei)(nei)清(qing)除空(kong)(kong)氣(qi)(qi)中的(de)(de)顆粒物、有害(hai)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)、細菌等(deng)污(wu)染物，控制室(shi)(shi)內(nei)(nei)溫度(du)(du)、清(qing)潔度(du)(du)、室(shi)(shi)內(nei)(nei)壓力、氣(qi)(qi)流速(su)度(du)(du)和(he)氣(qi)(qi)流分布，將噪聲(sheng)振(zhen)動和(he)照(zhao)明(ming)、靜電控制在一(yi)定(ding)需求(qiu)(qiu)范圍內(nei)(nei)，需要(yao)平面設(she)計(ji)師(shi)和(he)各技術段工(gong)(gong)程(cheng)師(shi)非常精密的(de)(de)計(ji)算與合作，易納瑞EPC集(ji)成(cheng)服務商(shang)的(de)(de)集(ji)成(cheng)服務優勢(shi)在這(zhe)里(li)可以比(bi)較明(ming)顯的(de)(de)體(ti)現(xian)出來。設(she)計(ji)團(tuan)隊(dui)、技術團(tuan)隊(dui)和(he)項目施工(gong)(gong)團(tuan)隊(dui)已(yi)經過多年磨合，對(dui)工(gong)(gong)程(cheng)建設(she)的(de)(de)理(li)念和(he)進度(du)(du)配合都達成(cheng)比(bi)較一(yi)致的(de)(de)思維，往往能在保(bao)質保(bao)量地完成(cheng)工(gong)(gong)程(cheng)建設(she)的(de)(de)同(tong)時，將節能與實用(yong)性(xing)做充分的(de)(de)融合。
三、半(ban)導體、晶片、集成電(dian)路超凈間(jian)裝修要點
1．半導體、晶片、集(ji)成(cheng)電路超凈(jing)間(jian)裝修時(shi)物料凈(jing)化用(yong)室(shi)與潔凈(jing)室(shi)（區）之間(jian)應設置氣閘(zha)室(shi)或傳遞(di)窗(chuang)。
2．按火災危險性分類，甲、乙類的房(fang)間(jian)與相鄰(lin)的生(sheng)產(chan)區(qu)段或(huo)房(fang)間(jian)之間(jian)，或(huo)有防火分隔要求時，應設隔墻。
3．單向(xiang)(xiang)流(liu)和混合(he)流(liu)潔凈室(shi)（區(qu)(qu)）的噪聲級（空態）不(bu)應(ying)大于(yu)65dB（A），非單向(xiang)(xiang)流(liu)潔凈室(shi)（區(qu)(qu)）的噪聲級（空態）不(bu)應(ying)大于(yu)60dB（A）。
四、半導體(ti)、晶片、集成電路(lu)超凈間廠房的耐火等級(ji)不應(ying)低(di)于(yu)二級(ji)。
在電子工廠的(de)綜合性(xing)廠房的(de)一(yi)個防火分區內，潔凈生產(chan)區域與(yu)一(yi)般生產(chan)區域之(zhi)間應設置不燃燒(shao)體(ti)隔斷(duan)設施(shi)。不燃燒(shao)體(ti)隔斷(duan)設施(shi)應符(fu)合現行(xing)國家(jia)標(biao)準《潔凈廠房設計規范》的(de)有關(guan)規定。
五、半導體(ti)、晶片、集成電(dian)路超凈(jing)間內設置(zhi)真空泵時(shi)，應(ying)符合下列(lie)規定：
1．電子工廠裝修對于傳輸易(yi)燃(ran)、自燃(ran)化(hua)學(xue)品或高濃度氧氣(qi)(qi)的真空(kong)泵(beng)，應(ying)(ying)(ying)采用不燃(ran)泵(beng)油，并應(ying)(ying)(ying)配置氮(dan)氣(qi)(qi)吹掃。氮(dan)氣(qi)(qi)吹掃控制閥應(ying)(ying)(ying)與(yu)生產(chan)工藝設備操作系統聯鎖。
2．對傳輸含有可燃氣體的真(zhen)空(kong)泵(beng)，可燃氣體濃度(du)超過爆(bao)炸下限(xian)的20%時，應設(she)尾氣處理裝置，在排(pai)入排(pai)氣系統(tong)前應去除或稀(xi)釋可燃氣體組分。
3．使用油潤滑(hua)的真(zhen)空泵應(ying)設置(zhi)除油裝(zhuang)置(zhi)，除油后尾氣(qi)應(ying)排(pai)入排(pai)氣(qi)系統。
六、半導體、晶片、集成電路超凈間的(de)(de)安全出(chu)口(kou)的(de)(de)設置，應符合(he)下列規定(ding)：
1．丙類(lei)生產的(de)電子工(gong)(gong)業潔凈廠房，在關鍵生產設備(bei)自帶火災(zai)報(bao)警和滅火裝置以及回風氣流(liu)中(zhong)設有靈敏度(du)嚴于0.01%obs/m的(de)高(gao)靈敏度(du)早期火災(zai)報(bao)警探測系統(tong)后，安全疏散(san)距離可按工(gong)(gong)藝需(xu)要確定(ding)，但不得大于規(gui)定(ding)的(de)安全疏散(san)距離的(de)1.5倍。
2．工廠裝(zhuang)修時要給每一生產層、每個防火(huo)區或每一潔凈室的安全出口(kou)數目，應符合現行國(guo)家標準(zhun)《潔凈廠房設計規(gui)(gui)范》的有(you)關規(gui)(gui)定。
3．安全出口應(ying)分散(san)布置(zhi)，并應(ying)設(she)有(you)明顯(xian)的疏(shu)散(san)標志；安全疏(shu)散(san)距離(li)應(ying)符合現行(xing)國家標準《建筑設(she)計防火規(gui)范》的有(you)關(guan)規(gui)定。安全疏(shu)散(san)用門應(ying)向疏(shu)散(san)方向開啟(qi)，并應(ying)設(she)觀(guan)察玻(bo)璃(li)窗。
七、半導體、晶(jing)片、集(ji)成電路超(chao)凈間工程的(de)人(ren)流(liu)物流(liu)設計
一）人流設計
1．人員凈化
2．工廠裝修潔(jie)凈室入口宜設空(kong)氣(qi)吹淋室。當(dang)不設空(kong)氣(qi)吹淋室時，應設氣(qi)閘室。
3．空(kong)氣(qi)潔凈度等級(ji)為5級(ji)或嚴于5級(ji)的垂(chui)直(zhi)單向(xiang)流潔凈室(shi)，宜設(she)氣(qi)閘室(shi)。
4．空氣吹淋室的進(jin)、出(chu)門(men)不得(de)同(tong)時開(kai)啟，應(ying)采(cai)取連鎖控制措施。
5．單(dan)(dan)人空(kong)(kong)氣(qi)吹(chui)淋室(shi)，應按大班人數30人設(she)(she)一臺(tai)。潔凈室(shi)人員(yuan)超過5人時(shi)，空(kong)(kong)氣(qi)吹(chui)淋室(shi)一側應設(she)(she)單(dan)(dan)向(xiang)旁通門。
二）物流設計
1．工廠裝修(xiu)物料(liao)凈化用室(shi)(shi)與(yu)潔(jie)凈室(shi)(shi)之間應(ying)設置(zhi)氣閘室(shi)(shi)或(huo)傳遞(di)窗。
2．潔(jie)凈(jing)室內的(de)設(she)備和物料出入口，應(ying)獨(du)立(li)設(she)置，并應(ying)根據設(she)備和物料的(de)特(te)征、性質、形(xing)狀等設(she)置凈(jing)化用(yong)室及相應(ying)的(de)物凈(jing)設(she)施。
